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【摘 要】
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微纳米器件加工是未来制造业发展的一个主要方向。近年来,随着纳米光电子设备、航空航天技术、传感技术的发展,对加工微纳器件提出了更高的要求。通过缩小产品尺寸,微纳器件
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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哈尔滨工业大学
【发表日期】
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2011年期
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