【摘 要】
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作者完成了一套基于运算放大器的高分辨率、高精度压电驱动电源设计方案,针对压电陶瓷驱动器的高电压输出和大电容负载特性进行了优化设计,采用补偿技术实现了大电容负载下的
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作者完成了一套基于运算放大器的高分辨率、高精度压电驱动电源设计方案,针对压电陶瓷驱动器的高电压输出和大电容负载特性进行了优化设计,采用补偿技术实现了大电容负载下的闭环系统的稳定性和高频响.该电源还具有低的静态纹波,限流保护和多种输入接口(模拟输入、手动输入和SPP输入),同时编写了上位机SPP驱动程序和电源控制程序.同时,论文作者还完成了基于电容式传感器的微位移检测电路设计实现.电容式传感器具有分辨率高、无接触,高频响等优点,但杂散电容的影响极易对相对微小的输出信号造成干扰,通过采用合理的电路结构和检测方法大大降低了杂散电容的影响,同时把温漂等干扰因素降低到允许范围内.最终实现在采用50um电容测头的情况下,系统精度达到±20nm,分辨率7.5nm.最后,在完成系统设计的基础上,建立了测试系统,分别对压电陶瓷驱动电源和电容式微位移检测电路进行了性能测试.
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