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微泵控制技术是微电子机械系统发展需要解决的关键问题之一,由于电渗微泵结构简单,操作简单易行等优点,得到了人们越来越多的关注。基于连续介质假设,Poisson-Boltzmann方程和Navier-Stokes方程的连续性理论在处理微米尺度以上的电渗流时取得了相当大的成功。当管径减小至纳米级时,连续性理论是否仍然能够用于描述纳米尺度的电渗就很值得探讨。本文采用分子动力学的方法,对间距为2.9nm两平行板间的电渗现象进行了研究。首先模拟了平行板间的电渗现象。模拟结果表明,在双电层