【摘 要】
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该文主要介绍了DNA检测用的光电管(包括光电二极管和光电三极管)的设计思想、制作工艺流程及测试结果与分析等.重点讨论了光电管理论和设计过程.对制备出的光电管样品的特性
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该文主要介绍了DNA检测用的光电管(包括光电二极管和光电三极管)的设计思想、制作工艺流程及测试结果与分析等.重点讨论了光电管理论和设计过程.对制备出的光电管样品的特性进行了测试,讨论了影响光电管特性参数的因素.在制备过程中,多种因素影响着光电管的特性参数和性能.文中讨论了离子注入及磷扩散时间和温度对光电管特性的影响.实验结果证明,采用离子注入技术,并合理地控制磷扩散的时间和温度,可以有效地改善光电管的特性参数,提高其光灵敏度,增大光电流.最后,提出了几点进一步改善光电特性的建议.
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