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本文介绍用离子束溅射法制备长波长软X射线多层膜的研究工作,并报道了一种新的材料组合C/Si用于28.4nm(43.65eV)和30.4nm(40.78eV)波段的多层膜反射镜.文中首先介绍了软X射线多层膜技术的发展、应用及国内外现状;第二章主要介绍软X射线多层膜和离子束溅射的理论基础;第三章详细说明了制备长波长软X射线多层膜全过程;接着对实验样品进行检测,用小角衍射仪检测周期结构及用软X射线反射率计对其反射率的测量;最后对如何消除长波长软X射线Mo/Si多层膜二级衍射峰做了初步研究.从实验结果看出,制备的多层膜样品在28.4nm和30.4nm波段附近的实测正入射反射率分别达到11.4％和14.3％.