【摘 要】
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该课题首先利用准分子(KrF)激光器进行了PLD沉积金属薄膜材料的实验研究,探讨了准分子激光PLD法沉积金属薄膜的沉积速率、薄膜质量与激光参数等的关系.为克服准分子激光输出
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该课题首先利用准分子(KrF)激光器进行了PLD沉积金属薄膜材料的实验研究,探讨了准分子激光PLD法沉积金属薄膜的沉积速率、薄膜质量与激光参数等的关系.为克服准分子激光输出功率小,沉积速率(Al)过低等不足,我们首次使用较高频率,较高输出功率的脉冲Nd:YAG激光进行薄膜沉积的实验研究,以沉积纯Al薄膜为主,研究PLD(Nd:YAG)沉积金属薄膜的特点.为克服PLD薄膜沉积速率因靶面形貌的改变而下降的缺点,我们提出并实现了液体靶材PLD(Nd:YAG)沉积金属薄膜的构想.从实验结果来看,在一定的激光重复频率下(≤5Hz),这种方法能较好地实现靶面自动修复的目的;此外,从所得到的薄膜来看,表面几乎没有因冲击溅射而产生的大颗粒缺陷.在PLD实验研究的基础上,我们建立了脉冲激光烧蚀金属靶材的三维温度分布模型,提出了"液滴的产生,主要是由于蒸发物质对激光光斑作用的相邻区域的熔体的反冲所致"的机理,从研究情况看,结果与实验情况基本吻合.
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