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引线键合机是后道封装的核心设备,直接决定着微电子封装的质量、性能、可靠性和成本。随着微电子封装小型化、薄型化、高密度化的发展,对引线键合机性能的要求也越来越高,高速度、高加速度、高精度将是其发展方向。论文对线性音圈电机等主要环节进行了分析、建模,研究并设计了基于PID的全闭环伺服控制系统。
论文对国、内外相关技术进行了比较分析,确立了基于PID整定、零传动的控制方案。通过对引线键合机控制系统各主要环节的建模与分析,设计了高性能的PID伺服控制算法,深入分析了比例环、微分环、积分环的作用及其对系统性能的影响,并采取了算法优化、参数优化、拟合补偿等改善措施。论文分析了各分系统的技术特点,提出了各自的设计原则和指标;设计了以工控机为控制平台、基于高速DSP的全闭环伺服控制系统;编写了基于PID的运动控制程序、主程序。设计了高速可靠的实时性数据通讯系统,在此基础上,实现了实时化在线调试功能。论文系统分析了失效模型、误差原因,进行了动态自诊断设计,提高了可靠性和生产效率。
经批量工艺实验表明:在键合速度、精度、分辨率等主要性能方面,居国内领先地位,本课题的研究,达到了预期目的。