太赫兹波段处于毫米波与光波之间,所以具备它们的优点,还具有散射低、安全性高、透射比高、信道容量大和器件尺寸小等优点。因此,太赫兹波段是未来通信系统研究发展的重要方向。滤波器是通信系统中重要的组成部分,可以用于去除干扰信号和接收特定频段信号。太赫兹滤波器件未能快速发展是因为器件尺寸太小,导致加工工艺难度高。综合考虑器件加工难易度与滤波器性能,以具备结构简单、低插损和相对带宽大等特点的太赫兹带通滤波器作为研究对象,探讨了影响太赫兹带通滤波器特性的结构参数等因素,并设计和加工了220GHz太赫兹带通滤波器。首先介绍太赫兹波的特性及优点,其次,综述太赫兹滤波器种类及其国内外研究现状和发展前景。基于滤波器的基本理论知识,在可调谐太赫兹滤波器结构基础上,研究并改进已有的太赫兹滤波器微结构,提出了一种中心频率为225GHz,相对带宽为8.9%的太赫兹带通滤波器。研究了介质基体材质、介质基体厚度、齿轮单元材质、齿轮单元个数、齿轮单元高度、齿轮单元间距和齿轮单元环宽等参数对滤波器性能的影响,优化得到满足设计指标的滤波器结构参数。采用MEMS(Micro Electromechanical System)工艺对仿真优化的太赫兹带通滤波器进行工艺探索,并对获得的加工样品进行表面形貌表征和结构参数测试,最终根据测试误差进行工艺评价。