有机自组装单分子膜（SAMs）的润湿性和光响应性研究，对于微流道制备和微流体驱动技术的实现，具有关键性的作用。本文重点研究了：(1)基于SAMs制备超双疏性能表面；(2)利用自组装单分子膜的光响应性，制备梯度表面能表面，并进行微液驱动实验；(3)在自组装单分子膜图案上实现了ZnO晶体的生长选择性。研究发现：　　 (1)具有粗糙结构的SAMs表面均具有超疏水特性，与水接触角均大于150°,而且表面的接触角滞后性很小，滚动角小于2°。　　 (2)在超疏油特性方面，发现含氟的FAS-SAM表面具有较好的疏油效果，棒状结构的粗糙表面对十六烷和二甘醇接触角分别为112°和146°，达到了疏油效果；球形表面对这两种油的接触角分别为150°和162°，实现了超疏油性能。　　 (3)随着光照时间的增加，FAS-SAMs表面的O(1D)浓度上升，SAM刻蚀程度加强，导致接触角逐渐减小，表面能逐渐增大。利用这种时间的渐变过程，通过设计光照设备，制备了具有梯度变化表面能的SAM薄膜。　　 (4)表面张力驱动实验发现，液滴的体积越大，其速度越大。当水滴体积增大到14μl时，移动速度最快，为3.5mm/s。表面能梯度密度越大，运动速度越快。梯度密度变化与速度变化之比为1∶1。　　 (5)利用ODS-SAM气相沉积，结合SAMs的光刻蚀技术，制得了图案化的表面。通过掌握形核速度成功的氧化锌晶体的沉积位置，得到了具有孔形和点状的氧化锌晶体图案。　　 自组装单分子膜在微纳器件的研制中有着广泛的应用前景。本文基于SAMs的VUV光响应性能研究SAMs表面的表面张力可控变化，并应用到梯度表面能表面的制备，以及纳米材料的选择性生长方面，对微纳器件的研究有很强的实践意义。