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该文设计了新型的悬丝转镜激光跟踪干涉仪,并以多路悬丝转镜干涉仪构成二雄坐标测量系统,完成了平面运动物体的坐标测量,其结果与CMM测值进行了对比,表明测量精度优于0.05mm.
多路激光跟踪干涉仪柔性坐标测量系统
【摘 要】
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该文设计了新型的悬丝转镜激光跟踪干涉仪,并以多路悬丝转镜干涉仪构成二雄坐标测量系统,完成了平面运动物体的坐标测量,其结果与CMM测值进行了对比,表明测量精度优于0.05mm.
【机 构】
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天津大学
【出 处】
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天津大学
【发表日期】
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1997年期
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