自参考剪切干涉准直检测仪研究

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光学准直检是光学检测、光仪制造等领域中的一项重要技术,也是实现许多光学测量如球径测量、焦距测量及折射率测量常用的技术手段,因此,光学准直检测仪的研究与开发具有重要的实际意义和学术价值.自参考剪切干涉理论以单楔板剪切干涉为基础,从光学波像差理论出发,通过反射束和透射束分别形成的干涉场的比对分析提出检测判据,替代了现行的Murty剪切干涉理论中仅考虑和分析反射束干涉场的思想方法.此理论中,(1)基于反射束与透射束波面的相同性,实现了干涉场的自参考,从而解决了现行Murty理论中必须外设参考基准的困难;(2)基于反射束和透射束所产生的干涉条纹取向的变化的相反性,实现了检测灵敏度的倍增.根据所提出的自参考剪切干涉理论和方法,实验上发展并建立了相应的新的剪切干涉技术-自参考剪切干涉技术,该技术在准直检测、波面分析、像质评价等方面获得了广泛应用.
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