平整过程在线监测和统计过程控制的研究与实践

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该文对平整过程在线监测和统计过程控制技术进行了系统的研究与实践,重点研究了平整过程在线监测系统的信号测点选择,数据存储与管理,信号分析,统计过程控制技术.详细描述了信号测点的选择,在线监测系统的拓扑结构,数据存储与管理策略,信号分析以及数据预处理.详细规划了在线监测系统的信号分析和统计报表模块的功能需求,数据流程规划,以及具体实现.重点介绍了用于滤除高斯噪声的高阶统计量的原理与实现方法,以及应用Matcom具体实现信号分析模块的技术细节.介绍多元统计过程控制(MSPC)以及主元分析(PCA)的基本原理和应用方法,并且采用Matlab建立了从数据格式的转换,负荷矩阵的建立,主元计算以及统计控制图的绘制完全的示例程序,并通过分析实例数据,研究了其在生产中实际应用的可行性.成功开发了一套集信号采集、数据管理、信号分析、统计报表为一体的完整的平整过程在线监测系统.
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