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要提高硅基薄膜太阳电池的普及率,必须降低硅基薄膜太阳电池的生产成本,提高硅基薄膜太阳电池的稳定性及其初始性能。这些因素决定了硅基薄膜太阳电池的进一步发展,已引起了人们的广泛关注。本文主要以硅基薄膜太阳电池为研究对象,主要完成了以下工作:利用改变硅烷浓度和辉光功率制备了一系列低温的单结非晶硅电池及不同TCO和衬底温度的P型微晶硅单结电池,通过监测光衰退前后的I-V变化规律,Raman光谱以及SIMS,分析硅薄膜太阳电池的光衰退机理。制备了不同I层厚度和不同电极结构的叠层电池,并将部分电