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在光学真空镀膜监控过程中，近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低，难于检测监控。运用相干检测、锁相放大原理，在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上，自行研制电路器件和改装近红外探头，成功的实现了近红外信号的压噪、放大、滤波和检测监控。经过实验检验，各项参数达到监控膜厚的应用要求。
光学镀膜近红外监控的信号压噪
【摘 要】
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在光学真空镀膜监控过程中，近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低，难于检测监控。运用相干检测、锁相放大原理，在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上，自行研制电路器件
【机 构】
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中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275
【出 处】
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中国光学学会2004年学术大会
【发表日期】
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2004年期
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