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本文首先对半导体纳米结构,特别是一维量子线,零维量子点及其量子线,量子点超晶格结构的生长制备技术进行介绍,然后讨论如何应用分子束外延技术,SK生长模式,通过对半导体异质结构材料体系等的应变分布设计、生长动力学控制和生长工艺优化等分析和研究.
半导体纳米结构的可控生长
【摘 要】
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本文首先对半导体纳米结构,特别是一维量子线,零维量子点及其量子线,量子点超晶格结构的生长制备技术进行介绍,然后讨论如何应用分子束外延技术,SK生长模式,通过对半导体异质
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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全国第三届纳米材料和技术应用会议
【发表日期】
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2003年期
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