【摘 要】
：
系统研究了非平衡磁控溅射工艺对二氧化钛薄膜结构和性能的影响.在适当的氧化压(保证二氧化钛薄膜的化学计量比)下,利用直流和脉冲两种溅射电源工作模式,通过改变溅射电流和
【机 构】
：
西南交通大学材料工程学院生物材料与表面工程研究所(四川成都)
论文部分内容阅读
系统研究了非平衡磁控溅射工艺对二氧化钛薄膜结构和性能的影响.在适当的氧化压(保证二氧化钛薄膜的化学计量比)下,利用直流和脉冲两种溅射电源工作模式,通过改变溅射电流和溅射电压的大小、真空室的工作压力、沉积过程中靶台的温度和偏压以及样品和溅射靶的间距等工艺参数,研究了各参数对二氧化钛薄膜结构、显微硬度、膜基间结合力、摩擦系数、耐磨损性等力学性能的影响.
其他文献
目的 了解浙江省城乡学生体格发育的变化趋势与影响因素,为改进学校卫生工作,促进学生体格健康发展提供参考依据.方法 采用整群抽样对我省城市与乡村7~18岁学生2000年与1982
目的 探讨郑州市中小学生形态发育变化规律.方法 从郑州市城、乡、男、女7~18岁中小学生,1985年、1991年、2002年三次全国学生体质健康调研中所得身高、体重、胸围三项形态指
作为一名语文老师,我非常清楚课外积累对语文教学的重要作用——扩大知识面,提高观察、思维、创新及听说读写能力.于是,我也曾像其他许多语文老师那样大搞“地下工程”,给学
结合在校学生身体发育阶段和心理承受能力,对学生进行健康教育、青春期教育、性知识教育如何把握好一个"度",成为摆在教育工作者面前的一大课题,需要大家共同研究、探讨.
本文对北京市西城区1996-2002年连续7年的初中毕业生体检结果进行分析.结果表明:完全合格率呈下降趋势,专业受限率和不合格率呈上升趋势.男女生相比,完全合格率男生明显高于
本世纪70年代以来,随着金融市场的发展和国际一体化,对冲基金在西方各国迅猛发展。作为一种极具活力的金融品种,对冲基金既为金融市场上的巨额资本提供了一条出路,也为少数
各类镀层除了具有其装饰和功能性外,最重要的目的,就是赋予金属基体及产品零件耐蚀性能,镀层质量的好坏最主要的也是最为重要的评判依据就是其耐蚀性.反过来如果镀层由于耐蚀
以镀铬40Cr钢样品为研究对象,提出了用等离子弧对试样表面进行扫描处理以增强镀铬层与基体结合的方法,研究了不同工艺处理后材料的组织与性能变化.结果表明由于非转移弧热效
用纳米ZrO及纳米-微米混合ZrO粉末与NiCrCoAl-YO合金粉末,采用等离子喷涂方法制备了二种热障梯度涂层,以试样整体加热然后水冷却和空气冷却的热循环试验比较了其抗热震性能.
目的 了解2002年广州市学生体质健康监测形态指标检测质量.分析问题,探讨对策,改进工作.方法 采取现场随机抽样的方法,抽取3﹪的学生为复测对象,选择身高、体重、胸围三项形态