论文部分内容阅读
投影光刻机自动对准系统的实验研究
【机 构】
：
清华大学微细工程研究所
【出 处】
：
1988年全国大规模集成电路专用设备学术交流年会
【发表日期】
：
1988年期
其他文献
主要介绍光学塑料和塑料零件注射成型工艺在近几年来的新进展。其中包括：1．对CR39的改性：共聚改性；CR39分子内部改性；掺入无机化合物。2．EA光学塑料。3.对PMMA的改性。4.日本的新塑
采用聚丙烯酰胺凝胶电泳，研究了温度与甘蓝型油菜ｐｏｌｉｍａ细胞质雄性不育系０７Ａ及真保持系０７Ｂ叶片和茎尖酯酶同工酶的变化。结果表明。不同生育期的环境温度对０７Ａ体内酯酶同工酶种类和活性都有影
介绍了微电子专用关键设备0.7μmi线投影曝光系统光刻物镜的主要技术指标，及设计试制中解决的关键单元技术和试制结果。结果表明，数值孔径NA=O.42，光刻工作分辨力0.6μm，像场尺寸