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对全透明Ｘ射线移相光刻的原理进行了论述，提出了两种全透明Ｘ射线移相光刻方式，是后对它进行了初步的实验研究。
全透明Ｘ射线移相光刻
【摘 要】
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对全透明Ｘ射线移相光刻的原理进行了论述，提出了两种全透明Ｘ射线移相光刻方式，是后对它进行了初步的实验研究。
【机 构】
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科学院微电子中心(北京)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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