论文部分内容阅读
利用蓝宝石衬底上的AlGaN/GaN异质结制备了90nm T型栅AlGaN/GaN HEMT，其最高特征频率fT和振荡频率fmax分别为86.0 GHz和142.8 GHz。通过对不同栅宽的AlGaN/GaN HEMT对比分析，首先建立了18元件小信号等效电路模型，然后对小信号参数进行提取，并使用模拟退火算法分别对寄生参数和本征参数初值优化，得到了符合物理含义的小信号参数优值，最后基于小信号参数Cgs和gm，深入分析了器件栅宽对频率特性的影响。