【摘 要】
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传统的热阴极电子枪存在体积大、启动慢、时间分辨率低、功耗大等缺点,无法继续满足小型化、高分辨、低功耗、大电流等性能的真空器件发展需求,与此相对,基于场致电子发
【机 构】
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中山大学物理科学与工程技术学院光电纳米材料与科学国家重点实验室,广东省显示材料与技术重点实验室,广东广州,510275
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传统的热阴极电子枪存在体积大、启动慢、时间分辨率低、功耗大等缺点,无法继续满足小型化、高分辨、低功耗、大电流等性能的真空器件发展需求,与此相对,基于场致电子发射原理的冷阴极电子枪具有功耗低、尺寸小、响应速度快、高电流密度等优点[1],正好弥补了热阴极电子枪的上述缺点,有望成为一种理想的电子发射源.碳纳米管具有长径比高、开启电场低、发射电流密度大等优点,是一种理想的场致发射器件冷阴极材料[2,3].据此,我们研制了一个小型的轴对称收敛型碳纳米管冷阴极电子枪,电子枪由碳纳米管阴极、钼网栅极、聚焦极和阳极四部分组成;直径为 1.6mm 的碳纳米管阴极在栅极电压的作用下发射出电子,穿过栅网孔的电子经过聚焦极的聚焦作用,最后在阳极屏上形成一个小的电子束焦斑,焦斑的大小可通过调节各电极间的间距以及各电极上的电压来控制.经初步测试,我们获得的最小电子束斑直径为 0.68mm,面积压缩比为 5.6;当阴极电流为 220μA 时,获得的阳极电流为 130μA,电子透过率为 59%,阳极屏上束斑电流密度达到了 35.6 mA/cm2,电子枪的性能有望继续被优化,并可用于微波管、X 射线管等真空电子器件中.
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