【摘 要】
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材料放气是选用真空材料的重要参数.本文研究常用导线绝缘层聚全氟乙丙烯和可溶性聚四氟乙烯这两种材料在真空环境中的放气特性.本文采用小孔流导法分别测量了样品在常温、加
【机 构】
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东南大学电子科学与工程学院显示中心 中国科学院光电研究院 北京
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会
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材料放气是选用真空材料的重要参数.本文研究常用导线绝缘层聚全氟乙丙烯和可溶性聚四氟乙烯这两种材料在真空环境中的放气特性.本文采用小孔流导法分别测量了样品在常温、加热以及冷却条件下的放气率,并且用四极质谱计测量了样品在各种条件下的放气质谱图.结果表明这两种材料在加热过程中的放气率先增大后减小,并随着抽气不断减小,在加热过程中的谱图中检测到质量数为69的气体,说明放出的气体成分含氟.
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