【摘 要】
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本文提出了一种用于覆盖聚合物敏感膜的两端对声表面波(SAW)谐振器型气体传感器的仿真方法。通过对两端对SAW谐振器型气体传感器结构的分析，运用耦合模(COM)理论建立了与
【出 处】
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中国科学院声学研究所第四届青年学术交流会
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本文提出了一种用于覆盖聚合物敏感膜的两端对声表面波(SAW)谐振器型气体传感器的仿真方法。通过对两端对SAW谐振器型气体传感器结构的分析，运用耦合模(COM)理论建立了与其结构对应的P矩阵。针对覆盖聚合物膜的区域，结合微扰理论和表面阻抗理论的分析了聚合物膜对声波传播的扰动影响，并以此为基础研究了反映聚合物膜声学性质的P矩阵形式，为进一步研究基于聚合物敏感膜的声表面波谐振器结构气体传感器的响应机理分析提供了良好的理论基础。
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