【摘 要】
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MEMS石英音叉陀螺是近年来发展起来的新型惯性器件.在石英音叉的早期设计阶段,为了提供可靠的设计方案,并缩短设计周期,应该对其进行分析模拟.音叉的结构参数至关重要,不仅会
【机 构】
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北京理工大学,信息科学技术学院光电工程系,北京,100081
【出 处】
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2006年国防光学及光电子学学术研讨会暨中国兵工学会光学专业委员会成立25周年年会
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MEMS石英音叉陀螺是近年来发展起来的新型惯性器件.在石英音叉的早期设计阶段,为了提供可靠的设计方案,并缩短设计周期,应该对其进行分析模拟.音叉的结构参数至关重要,不仅会影响陀螺的敏感性,还会影响其检测精度和稳定性。本文以U形音叉为例,利用大型有限元分析软件ANSYS建立了微型石英音叉的实体模型,对其模态特性进行了分析和计算,分析了音又几何尺寸对其谐振频率的影响,并提供了一组可供实际制作的音叉结构参数,大大缩短了设计周期.
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