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用Ｐ〈’＋〉离子注入ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＧａＡｓＰ应变多量子阱激光器结构，再经Ｈ〈，２〉／Ｎ〈，２〉混合气氛下的快速退火，体内ＭＷＱ层中发生组份混合，导致激光器件的激射波长蓝移７７．９ｍｍ，而未作注入的纯退火区器件蓝移只有５．２ｍｍ。
离子注入实现的ＭＱＷ混合蓝移效应
【摘 要】
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用Ｐ〈’＋〉离子注入ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＧａＡｓＰ应变多量子阱激光器结构，再经Ｈ〈，２〉／Ｎ〈，２〉混合气氛下的快速退火，体内ＭＷＱ层中发生组份混合，导致激光器件的激射波长蓝移７７．９ｍｍ，而未作注入的纯退火区器件蓝移只有５．２ｍｍ。
【机 构】
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科学院半导体研究所(北京)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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