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为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命，研究Mo/Si多层膜表面保护层设计。通过分析多层膜驻波电场的分布，对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计，使优化后的反射率最高。计算表明，一定厚度的表面保护层总对应一个最优的最上层材料厚度。在13.36nm波长，膜对数为50的Mo/Si多层膜10度入射的理论反射率为74.47％;当添加厚度为2.3nm的Ru作为表面保护层，对应多层膜最上层Si的优化厚度为3.93nm，其理论反射率为75.20％。设计结果表明，通过优化设计表面保护层，可以提高多层膜稳定性，改善多层膜性能。