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溴－甲醇抛光中ＩｎＰ衬底表面“桔皮”问题
【机 构】
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中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心
【出 处】
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中国有色金属学会1993年砷化镓及有关化合物会议
【发表日期】
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1993年期
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