【摘 要】
：
本文针对石英玻璃的精细加工,研究了1064nm和532nm两种不同波长皮秒激光(～10ps)对石英玻璃加工的基本优化参数、规律及精细制孔.通过控制变量法,研究了皮秒激光能量、光斑
【机 构】
：
北京工业大学 激光工程研究院,北京,100124
论文部分内容阅读
本文针对石英玻璃的精细加工,研究了1064nm和532nm两种不同波长皮秒激光(～10ps)对石英玻璃加工的基本优化参数、规律及精细制孔.通过控制变量法,研究了皮秒激光能量、光斑离焦量、激光扫描次数和扫描速度对石英玻璃加工的规律影响,确定1064nm和532nm皮秒激光对石英玻璃的损伤阈值分别为为2.865J/cm2和2.01J/cm2.提出了圆环扫描切孔的新方法,克服了常规微孔加工中深孔效应对通孔加工的限制.结合基础实验规律,对圆环扫描法中的参数确定进行计算推导,完成了0.3～2mm不同厚度石英玻璃的通孔加工；在0.3mm厚石英玻璃上得到了边长500μm的方形孔加工及异形孔组合加工；完成单孔直径500μm左右多孔阵列的快速精细加工,孔边缘间隔最小仅为30μm,无裂纹、熔凝残渣等任何损伤,很好地满足了微电子封装、MEMS器件封装,生物和医疗等领域玻璃转接板微孔金属穿丝的应用需求.采用皮秒激光实现了对石英玻璃精细加工的效果,通过新工艺方法的设计和工艺参数的优化,充分发挥出皮秒激光"冷"烧蚀的优势.最后,观察和分析了微孔的表面形貌与质量,总结皮秒激光对石英玻璃加工的规律,综合评价皮秒激光对玻璃等硬脆性材料加工的可行性分析及应用价值前景.
其他文献
目前，对于硅基太阳能电池，选择性掺杂已成为研制高效率电池不可避免的一步工艺，例如选择性发射级电池中电极处的重掺杂使得电极处能够形成良好的欧姆接触，非电极处的轻掺杂有
孙阿姨今年52岁,最近总感到外阴瘙痒,并伴有灼热感,于是来到医院检查。看病的王大夫见孙阿姨面露窘色,便问道:“您哪里不舒服啊?”孙阿姨不好意思地说:“大夫,我最近下面总是
售价大多为两三百元的凯利通功能手机，让宁鹏创办的利通四方集团年销售额达到了上亿元。中国割裂的消费市场再次展示了不容小觑的商业机会。 这个魁梧的大汉出生于河南农村，自考成人本科学历，拥有十几年的销售经验，在销售行当一直做得风生水起。他2002年进入手机行业，以打造的一款八喇叭手机蜚声业界——该产品曾带来一年数亿元的净利润。 2009年底，宁鹏不想再继续替人打工，他拉着一批人投资400万元，打算“
本文基于激光光内同轴送粉技术和6轴机器人技术,采用熔覆头空间变姿态的成形方法,沿着生长的切线方向连续变角度送粉堆积成形了悬垂薄壁件.建立了倾斜基面熔池受力与位移模型
为实现车辆轻量化，越来越多的铝钢异种金属连接被应用于汽车行业.本文采用对接接头，利用熔钎焊的原理，在不锈钢保持固态的条件下，使用光纤激光器熔化焊丝和铝母材，最终实现了6
我是军人出身,年轻时体壮如牛,哥儿们戏称我“土坦克”。但步入中年之后,状况有点不佳。体检时医生说我不仅血脂高、血压高,还有轻微的骨质疏松。叫我赶紧运动,否则一些疾病
洋葱地膜覆盖栽培不仅可以安全越冬,同时从返青期以后能加速生长进程,鳞茎提前肥大生长,提早成熟,避开了雨季,对收获、贮藏更为有利。据我们三年的试验结果,平均增产率为33.
新建成的住宅小区在验收接管之后,物业管理即进入“居民入住阶段”。这一阶段除了大量的接待工作和繁琐的入户手续外,各种管理与被管理的矛盾也会在短时期内集中地暴露出来。
长毛兔选种的主要指标是剪毛量和毛的品质,这两个经济性状受许多因素的影响,除受遗传、品种、营养等因素影响外,还受气温的影响。为进一步探索气温对剪毛量和毛品质影响的规
红寿是日本神奈川县园艺试验场于1979年用秋香和丽红杂交,经过几次选拔,在1983年育成,1985年10月16日由日本种苗法登记并予以推广栽培的新品种。此品种在我县农牧局温室内已