自供电光电传感器的构建及光电性能研究

来源 :珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Sqiwei

【摘要】

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通过热蒸发法蒸镀超薄氧化钨薄膜,成功构建具有WO3-x/Si异质结纳米光电传感器,器件显示出自驱动、高灵敏、宽光谱、快速响应等特征.通过对异质结界面进行H化和CH3化处理,发现

【作者】

：

刘于金赵传熙曾平羊马坤谢伟广麦文杰

【机构】

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暨南大学物理系,思源实验室广州市真空薄膜技术与新能源材料重点实验室,广州510632

【出处】

：

珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会

【发表日期】

：

2016年12期

【关键词】

：

自供电光电传感器微纳结构异质结界面钝化处理光电性能

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通过热蒸发法蒸镀超薄氧化钨薄膜,成功构建具有WO3-x/Si异质结纳米光电传感器,器件显示出自驱动、高灵敏、宽光谱、快速响应等特征.通过对异质结界面进行H化和CH3化处理,发现CH3处理调控能显著拓宽器件带宽、增强光电响应性能.同时,还系统研究了不同微纳结构对异质结光电器件的影响规律,揭示微纳结构和界面钝化对WO3-x/Si光电器件性能增强的微观机理.

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