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功率分立器件大部分是硅基材料,其生产工艺与集成电路保持一致.出于成本及性能的考虑,分立器件芯片呈现出结构多样化、尺寸微缩化的特点,这对芯片的失效分析提出了更高的挑战。本文阐述了功率分立器件芯片失效分析的必要性,介绍了芯片适用的完整失效分析流程和先进的分析技术与方法,并对多个典型案例进行了分析.
功率分立器件的芯片级失效分析
【摘 要】
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功率分立器件大部分是硅基材料,其生产工艺与集成电路保持一致.出于成本及性能的考虑,分立器件芯片呈现出结构多样化、尺寸微缩化的特点,这对芯片的失效分析提出了更高的挑战
【机 构】
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上海华虹NEC电子有限公司,上海 201206
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2013年期
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