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ICP-96B型电感耦合等离子体发生器及其在光栅摄谱仪升级改造中的应用
ICP-96B型电感耦合等离子体发生器及其在光栅摄谱仪升级改造中的应用
来源 :2002年全国电子测控工程学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yun603
【摘 要】
:
本文介绍了一种采用单片机控制的电感耦合等离子体发生器(ICP)的电路、技术指标及在光栅摄谱仪改造升级技术中的应用情况.对电路设计调试中的部分问题及解决方法作了分析和阐
【作 者】
:
王永青
孙荣霞
李彦波
周颖昌
娄建忠
叶磊
【机 构】
:
河北大学
【出 处】
:
2002年全国电子测控工程学术年会
【发表日期】
:
2002年期
【关键词】
:
电感耦合
等离子体发生器
光栅摄谱仪
升级改造
单片机控制
升级技术
设计调试
技术指标
电路
应用
方法
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本文介绍了一种采用单片机控制的电感耦合等离子体发生器(ICP)的电路、技术指标及在光栅摄谱仪改造升级技术中的应用情况.对电路设计调试中的部分问题及解决方法作了分析和阐述.
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