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电子束曝光技术是目前相当活跃的研究领域，广泛应用于量子效应器件制造及纳米级超微细加工中，简单介绍电子束曝光系统、电子束抗蚀剂、电子束纳米级加工及基于ＪＢＸ－５０００ＬＳ系统的一些研究工作。
电子束曝光在纳米级超微细加工中的应用
【摘 要】
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电子束曝光技术是目前相当活跃的研究领域，广泛应用于量子效应器件制造及纳米级超微细加工中，简单介绍电子束曝光系统、电子束抗蚀剂、电子束纳米级加工及基于ＪＢＸ－５０００ＬＳ系统的一些研究工
【机 构】
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科学院微电子中心光掩模及微细加工实验室(北京)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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