【摘 要】
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根据压电本构关系和布拉格方程,提出了利用X射线衍射技术测量压电薄膜残余应力的扩展模型.采用D500织构测角仪和sinψ法获得模型中的实验参数,测量了脉冲激光沉积法(PLD)制备
【机 构】
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湘潭大学先进材料及其流变特性教育部重点实验室(湘潭)湘潭大学材料与光电物理学院(湘潭)
【出 处】
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祝贺郑哲敏先生八十华诞应用力学报告会
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根据压电本构关系和布拉格方程,提出了利用X射线衍射技术测量压电薄膜残余应力的扩展模型.采用D500织构测角仪和sin<2>ψ法获得模型中的实验参数,测量了脉冲激光沉积法(PLD)制备PZT压电薄膜的残余应力.考虑压电效应的影响,提出了弹性地基梁模型,并采用纳米压痕实验和原子力显微镜(AFM)观测对PZT压电薄膜进行了测量.实验表明,薄膜的剥落被简化成界面裂纹的扩展问题,弹性地基梁模型可用来较准确地确定铁电薄膜的界面强度.
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