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本文简要地介绍了各种主要的硅微传声器的工作原理,工艺实现方法,目前达到的技术水平及应用和市场发展的情况,讨论了在基础研究,工艺技术和测量标定方法等各方面存在的问题,指出了进一步的发展方向板.
硅微传声器
【摘 要】
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本文简要地介绍了各种主要的硅微传声器的工作原理,工艺实现方法,目前达到的技术水平及应用和市场发展的情况,讨论了在基础研究,工艺技术和测量标定方法等各方面存在的问题,
【机 构】
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中国科学院声学研究所(北京)中国科学院半导体研究所(北京)
【出 处】
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中国声学学会2002年全国声学学术会议
【发表日期】
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2002年9期
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