【摘 要】
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硬质厚涂层在严酷服役条件下可显著改善工件表面的使役性能,延长其使用寿命。近年来因等离子喷涂的硬质厚涂层的致密性和使用性能不足,以及水电镀厚涂层制备过程污染严重
【机 构】
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西安交通大学金属材料国家重点实验室,陕西西安 710049
【出 处】
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第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
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硬质厚涂层在严酷服役条件下可显著改善工件表面的使役性能,延长其使用寿命。近年来因等离子喷涂的硬质厚涂层的致密性和使用性能不足,以及水电镀厚涂层制备过程污染严重等,采用真空镀膜技术沉积硬质厚涂层正逐步显示出巨大优势,已成为学术界和工程界关注的热点。本文用自主开发的电弧增强磁控溅射技术(AEMS),在钛合金TC4及单晶硅表面沉积了系列Ti-Al-Si-C-N硬质厚涂层。通过X射线衍射、扫描电子显微镜、划痕仪及销盘磨损实验等表征了涂层的厚度、微观结构形貌、界面结合行为及摩擦学性能,分析了工艺条件对涂层结构和性能的影响。结果表明：在优化工艺参数下制备的Ti-Al-Si-C-N涂层厚度超过20m,界面结合力达到45N,涂层与GCr15钢球摩擦时间超过5小时没有发生失效,明显优于较薄的同类型硬质涂层。
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