【摘 要】
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以锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3:PZT)薄膜为代表的铁电陶瓷薄膜具有优良的铁电、压电、光电和介电等性能,使其在铁电存储器、薄膜电容器和微机电系统(Microelectro-mech
【机 构】
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中国科学院金属研究所沈阳市沈河区文化路72号,110016
【出 处】
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中国科学院“百人学者论坛”2010年学术年会
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以锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3:PZT)薄膜为代表的铁电陶瓷薄膜具有优良的铁电、压电、光电和介电等性能,使其在铁电存储器、薄膜电容器和微机电系统(Microelectro-mechanical systems:MEMS,如微纳米传感器、微纳米驱动器、微纳米光路开关等)等领域具有广泛的应用前景.
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