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来源 :第十三届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
为了获得低成本高效率硅基薄膜太阳能电池,利用具有不同带隙的硅基薄膜材料来构成宽光谱响应的新型硅基薄膜吸收材料是近年来值得探索的一个方向。将碳引入非晶硅膜中可以
【作 者】
:
李淑鑫
曹蕴清
芮云军
徐骏
李伟
陈坤基
【机 构】
:
南京大学电子科学与工程学院,固体微结构物理国家重点实验室,南京,210093
【出 处】
:
第十三届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
:
2012年期
【关键词】
:
等离子体处理
单层
碳化硅薄膜
光电性质
硅基薄膜
薄膜太阳能电池
非晶硅膜
薄膜材料
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