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利用磁控溅射制备了FePt/C多层膜,XRD测试表明,600℃真空退火得到了具有高磁晶各向异性FePt的L1<,0>相结构,磁性测量表明,多层膜FePt(2.5nm)/C(2.0nm)具有最佳的磁性能,矫顽力达3245.1Oe,AFM测试表明该成份的膜在600℃真空退火具有均匀的粒子分布,颗粒尺寸约为10nm.