本文在特定的气体氛围下，用一定能量密度的超短脉冲激光连续照射固定的硅片表面，可在硅表面产生准规则排列的微米量级锥形尖峰结构，制备出"黑硅"新材料。不同气体氛围下超短激光脉冲微构造硅表面的实验表明,激光脉宽和背景气体对表面微构造的形成起着决定性作用。研究了在SF6 气体氛围中，皮秒和飞秒激光脉冲作用下硅表面微结构的演化过程，在皮秒激光脉冲作用下，尖峰结构形成之前硅片表面先熔化；而飞秒激光脉冲作用下尖峰的演化过程中始终没有出现液相，实验结果表明，利用皮秒和飞秒激光脉冲微构造硅表面，均可在硅表面形成准规则排列的微米量级尖峰结构，但不同脉冲宽度的激光与硅表面相互作用的物理机制并不相同。初步研究了"黑硅"材料的光吸收性质，该材料对波长0.25～9μm的光波有强烈的吸收，这种新材料在光电探测器、太阳能电池等器件制造领域有着巨大的潜在应用价值。