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采用溶胶凝胶法制备出纳米多孔SiO2减反射薄膜样品，考察了薄膜制备工艺对其透过率的影响，并用紫外-可见分光光度计对薄膜的光学特性进行表征。研究结果表明，乙醇-盐酸溶液滴入乙醇-正硅酸乙酯溶液、陈化4天、正硅酸乙酯：乙醇：水摩尔比为1：20：4，单层SiO2膜具有较好的减反射效果，最大透过率可提高4％。