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激光干涉仪的一种波长校准方法
激光干涉仪的一种波长校准方法
来源 :全国计量测试学术大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luohua0891
【摘 要】
:
介绍一种精确而简便的激光干涉仪波长校准方法,利用现有测长机导轨,使被校、标准两台仪器同时对同一长度系列进行测量,取其示值之差(即比较测量)后,作“线性回归”及其“方差分析”
【作 者】
:
蔡立
卢建鸣
卫荫兰
【机 构】
:
部苏州电加工机床研究所
【出 处】
:
全国计量测试学术大会
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
激光干涉仪
波长
校准方法
线性回归
检定
方差分析
比较测量
测长机
仪器
导轨
长度
标准
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介绍一种精确而简便的激光干涉仪波长校准方法,利用现有测长机导轨,使被校、标准两台仪器同时对同一长度系列进行测量,取其示值之差(即比较测量)后,作“线性回归”及其“方差分析”,再根据F检验的显著与否进行波长的校准检定或比对检定。
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