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三维微细加工中的ＬＩＧＡ技术是被国际上公认为最有发展前途的一种微机械零部件加工工艺技术，但在我国与配套的辅助工艺尚不完善，因而限制了其发展速度。作者采用准ＬＩＧＡ工艺技术，以常规的紫外光刻方法，成功地制成了具有较高深宽比的微金属齿轮。
应用准LIGA技术制作微机械元件
【摘 要】
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三维微细加工中的ＬＩＧＡ技术是被国际上公认为最有发展前途的一种微机械零部件加工工艺技术，但在我国与配套的辅助工艺尚不完善，因而限制了其发展速度。作者采用准ＬＩＧＡ工艺技术，以常规的紫
【机 构】
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科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
其他文献
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