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本文合成了六种适用于248nm光致抗蚀剂的产酸剂,其中吩噻口恶体系的产酸剂由本研究室自主设计合成。六种产酸剂均通过IR,HNMR,UV等进行了结构表征,并通过使用酸敏染料研究了六种产酸剂的产酸效率,优选出了硫杂蒽酮系列的产酸剂,为进一步用于248nm光致抗蚀剂提供参考。
新型硫鎓盐产酸剂的合成及其产酸效率研究
【摘 要】
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本文合成了六种适用于248nm光致抗蚀剂的产酸剂,其中吩噻口恶体系的产酸剂由本研究室自主设计合成。六种产酸剂均通过IR,HNMR,UV等进行了结构表征,并通过使用酸敏染料研究了
【机 构】
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北京师范大学化学学院,北京100875
【出 处】
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2008非银盐影像技术及材料发展与应用学术研讨会
【发表日期】
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2008年7期
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