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该文阐述了国内最新引进的“ＡＪＩＭＡ３－１２Ｍ”２７〈’〃〉内圆切片机的主要概况及改造工作。
乌克兰AJIMAC-12M切片机概况
【摘 要】
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该文阐述了国内最新引进的“ＡＪＩＭＡ３－１２Ｍ”２７〈’〃〉内圆切片机的主要概况及改造工作。
【机 构】
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有色金属研究总院
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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