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研究了CVD钨涂层的表面形貌和结构、断面性能、涂层的抗热震性能及高温扩散性能.结果显示:钨涂层与基体有2微米左右的扩散层,属于冶金结合且钼在钨中的扩散速度更高:涂层在室温-1400℃~室温进行20次后涂层不脱落、界面没有明显变化,涂层结合力好;涂层界面上的杂质元素氧、碳等影响涂层的结合性能.
钼基表面化学气相沉积钨涂层
【摘 要】
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研究了CVD钨涂层的表面形貌和结构、断面性能、涂层的抗热震性能及高温扩散性能.结果显示:钨涂层与基体有2微米左右的扩散层,属于冶金结合且钼在钨中的扩散速度更高:涂层在室
【机 构】
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西北有色金属研究院(西安)
【出 处】
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2004全国真空冶金与表面工程学术研讨会
【发表日期】
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2004年期
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