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该文描述的新型热像仪是一种基于微机机械技术的光调制热成像系统，它采用光调制原理来实现转换和像增强，其核心是一个采用与CMOS工艺相容的微机械技术制作的光调制热成像器件。
光调制红外热像仪的设计与有限元模拟
【摘 要】
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该文描述的新型热像仪是一种基于微机机械技术的光调制热成像系统，它采用光调制原理来实现转换和像增强，其核心是一个采用与CMOS工艺相容的微机械技术制作的光调制热成像器件。
【机 构】
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中科院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室(上海)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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