【摘 要】
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在光控相控阵雷达系统中，光电探测器起着重要的作用，缺乏大功率高速光电探测器是制约光控相控阵雷达实用的瓶颈.近年来提出的垂直方向耦合光波导探测器，在满足超模匹配条件
【机 构】
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电子科技大学光电信息学院,四川成都610054
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在光控相控阵雷达系统中，光电探测器起着重要的作用，缺乏大功率高速光电探测器是制约光控相控阵雷达实用的瓶颈.近年来提出的垂直方向耦合光波导探测器，在满足超模匹配条件下，能解决光电流分布不均匀的问题，从而实现大功率高速工作.本文在选定了垂直方向耦合光波导探测器的结构后，主要针对吸收层进行设计，首先确定采用UTC外延结构，然后运用BeemProp软件对不同厚度进行比较后，得到厚度为0.3μm时吸收较完全，再用光波导理论分析后得到厚度为0.33μm时，吸收最完全，此时厚度较薄，载流子可以很快的进行渡越，响应时间快，能满足大功率高速运转的需求.
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