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【摘 要】
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在太阳能电池制造过程中，等离子增强型化学气相沉积(PECVD)这一道工序是必须而且非常重要的。而大多数传统PECVD设备都会用石墨框来装载电池片，因此用来支撑石墨框的石墨垫是必
【机 构】
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技术发展部,常州天合光能有限公司 江苏省 常州市 213031
【出 处】
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第十届中国太阳能光伏会议
【发表日期】
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2008年期
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