【摘 要】
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本文介绍了一种新型高精度多功能液位测量仪的设计与实现。该液位测量仪通过高精度压阻式MEMS微压传感器采集液体压力信号，将两路传感器所采集到的差压值，通过单片机STC89C
【机 构】
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西安交通大学精密工程研究所,陕西西安710049
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
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本文介绍了一种新型高精度多功能液位测量仪的设计与实现。该液位测量仪通过高精度压阻式MEMS微压传感器采集液体压力信号，将两路传感器所采集到的差压值，通过单片机STC89C52内部算法计算出当前被测液体的密度值，获取的是液体的实时密度信息。通过采集主液位传感器的当前压力值就可以准确的计算出当前被测液体的液位值。该液位测量仪还通过数字型温度传感器DS18B20来测量液体温度，并作为对MEMS微压传感器进行温度补偿的依据。液位测量仪为投入式封装，不锈钢外壳、激光焊接和硅油填充，具有结构简单、安装方便、可靠性和精度高的特点，能适用于各种液体的测量。
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