【摘 要】
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真空寿命是金属杜瓦的关键技术之一,在杜瓦完成超高真空排气后,漏率和金属材料放气就成为减小杜瓦真空寿命的主要因素.金属杜瓦的整体漏率现在可控制在10-12torr.I/s,以1
【机 构】
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中国科学院上海技术物理所 传感技术国家重点实验室,上海 200083
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真空寿命是金属杜瓦的关键技术之一,在杜瓦完成超高真空排气后,漏率和金属材料放气就成为减小杜瓦真空寿命的主要因素.金属杜瓦的整体漏率现在可控制在10-12torr.I/s,以150 ml容量杜瓦计算,杜瓦内真空度上升到10-1pa,需要三年时间.在不考虑杜瓦漏率的情况下,对金属材料表面放气率研究具有一定的意义.杜瓦金属材料主要包括不锈钢、可伐和钛合金,不锈钢金属材料的低放气率表面处理工艺包括高真空高温退火,以及表面机械抛光,可伐材料的低放气率表面处理包括镀镍,以及杜瓦零部件内表面的机械抛光.钛合金具有重量轻,强度高,但是表面放气率比较高,这里研究的是钛合金表面氮化后的放气率.
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