计算全息法零位补偿检测自由曲面反射镜

来源 :第四届全国信息光学与光子器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuanyuanzhujinbo

【摘要】

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　　计算全息图(CGH)技术是实现自由曲面光学检测的重要检测手段之一，为了实现一凸自由曲面的高精度面形检测、精确定位和光路对准，使用自行开发的CGH 设计软件，设计完成了同时

【作者】

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张斌智郑立功

【机构】

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033

【出处】

：

第四届全国信息光学与光子器件学术会议

【发表日期】

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2012年期

【关键词】

：

计算全息法零位补偿面形检测自由曲面 CGH 计算全息图元件设计软件

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　　计算全息图(CGH)技术是实现自由曲面光学检测的重要检测手段之一，为了实现一凸自由曲面的高精度面形检测、精确定位和光路对准，使用自行开发的CGH 设计软件，设计完成了同时具有面形检测、检测光路对准和被检自由曲面反射镜定位等多项功能的CGH 元件，使用该方法制作的CGH 元件检测误差RMS值小于0.011λ(λ＝632.8nm).

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